Semiconductor Series

半导体系列

Process Tube、Boat、Ring、Window、Liner、Nozzle、Dome、Bell Jar等等。用于半导体氧化、扩散、外延、刻蚀、清洗等工序

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Optical Series

光学系列

干涉仪主镜、镀膜环、抛光片、视窗、镀金片、激光玻璃等等。产品广泛应用于光学、真空设备、镀膜、激光、LED等领域。

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Optical Communication Series

光通信系列

光纤预制棒尾柄、炉芯管、喷灯等。用于光纤生产工艺。

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Photovoltaic Series

光伏系列

石英炉管、石英舟、石英炉门、源瓶、热偶管等等。用于太阳能TOPCon扩散工艺。

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Photomask Substrate Series

光掩膜基板系列

合肥光微致力于TFT-LCD及IC用光掩膜基板精加工业务

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光学系列

公司致力于为半导体、高端光学、光伏太阳能、光通信、光掩膜基板行业提供精密石英制品及解决方案。

Product Series

Optical Products

光学主要产品

干涉仪主镜、镀膜环、抛光片、视窗、镀金片、激光玻璃等等。产品广泛应用于光学、真空设备、镀膜、激光、LED等领域。

产品优势

  • • 抛光片面型可达到 λ/15
  • • 方形抛光片尺寸可达到2050mm*1000mm
  • • 圆形抛光片直径可达到1300mm
  • • 光学镀膜硅环直径可达到1000mm

Advantages

资源优势

公司拥有各类尺寸环抛机、通风橱等光学产品先进制造设备。

Analysis Capabilities

分析测试能力

600mm干涉仪

*主镜由上海菲利华石创制造

检测设备

Testing equipment